MEMS的基础结构及原理
2021-02-07 19:20:53
MEMS器件一般包括传感器（Sensor）信号处理器（CPU或MCU）和执行器 控制器（Actuator）三部分。传感器用于接受外界的信息，信号处理器对从外部接收的信号进行处理，执行器则接受来自控制器的指令并且做出要求的动作反应。
为了了解这个MEMS的工作原理，首先需要了解什么是一个机械系统。从标准动力学方程（拉格朗日力学）可以知道，一个机械系统的三个关键元素是质量、阻尼和刚度。其中阻尼也称阻尼系数或阻尼常数。一旦拥有了这三个最基本的元素，就是一个最简单的机械系统了。
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